Úkolem diplomové práce bylo naměřit, vyhodnotit pomocí měřicí metody SPM (Scanning Probe Microscopy) povrch vybraného materiálu a porovnat výsledky s optickým obrazem. Teoretická část práce se věnuje historii, seznamuje s principem optického mikroskopu a hlavně popisuje samotnou měřicí metodu SPM. Praktická část nejprve seznamuje s použitým multimetrem Agilent 34420A, ale hlavní důraz klade na mikroposuvný systém M-110.1DG. Ve druhé části probíhá samotné měření, kdy je vyhodnoceno a srovnáno několik měřených vzorků. V poslední kapitole je mikroposuvný systém podroben testu, jehož přesnost je vyhodnocena v závěru.
Annotation in English
The aim of this diploma thesis is to measure and evaluate surface of the specific material with SPM (Scanning Probe Microscopy) method. The results are then compared with optical images of the same material. Theoretical part of this work introduces history of the methodology, describes the principle of optical microscope but mainly deals with the SPM measuring method itself. The practical part mainly consist of the description of multimeter Agilent 34420 A, but the main emphasis is put on the micro-translation system M-110.1DG. Second part focuses on the actual measurement in which specific material samples are evaluated and compared. Last chapter of this document concentrates on the micro-translation system test with the final evaluation of the devices' accuracy.
Úkolem diplomové práce bylo naměřit, vyhodnotit pomocí měřicí metody SPM (Scanning Probe Microscopy) povrch vybraného materiálu a porovnat výsledky s optickým obrazem. Teoretická část práce se věnuje historii, seznamuje s principem optického mikroskopu a hlavně popisuje samotnou měřicí metodu SPM. Praktická část nejprve seznamuje s použitým multimetrem Agilent 34420A, ale hlavní důraz klade na mikroposuvný systém M-110.1DG. Ve druhé části probíhá samotné měření, kdy je vyhodnoceno a srovnáno několik měřených vzorků. V poslední kapitole je mikroposuvný systém podroben testu, jehož přesnost je vyhodnocena v závěru.
Annotation in English
The aim of this diploma thesis is to measure and evaluate surface of the specific material with SPM (Scanning Probe Microscopy) method. The results are then compared with optical images of the same material. Theoretical part of this work introduces history of the methodology, describes the principle of optical microscope but mainly deals with the SPM measuring method itself. The practical part mainly consist of the description of multimeter Agilent 34420 A, but the main emphasis is put on the micro-translation system M-110.1DG. Second part focuses on the actual measurement in which specific material samples are evaluated and compared. Last chapter of this document concentrates on the micro-translation system test with the final evaluation of the devices' accuracy.
Seznamte se s problematikou skenovací mikroskopie a optické mikroskopie.
Nastudujte použití softwaru pro zpracování obrazů od fy Olympus, dodaný k mikroskopu do laboratoře FAI.
Seznamte se s ovládáním mikroposuvů firmy PI.
Proveďte zobrazení vybraných elektrických parametrů povrchu získaných skenováním a porovnejte tento obraz s obrazem optickým.
Proveďte analýzu základních měření v obou obrazech.
Navrhněte možné využití použitého skenovacího systému.
Research Plan
Seznamte se s problematikou skenovací mikroskopie a optické mikroskopie.
Nastudujte použití softwaru pro zpracování obrazů od fy Olympus, dodaný k mikroskopu do laboratoře FAI.
Seznamte se s ovládáním mikroposuvů firmy PI.
Proveďte zobrazení vybraných elektrických parametrů povrchu získaných skenováním a porovnejte tento obraz s obrazem optickým.
Proveďte analýzu základních měření v obou obrazech.
Navrhněte možné využití použitého skenovacího systému.
Recommended resources
Anil K. Jain: Fundamentals of digital image processing, Prentice Hall 1989
Rafael C. Gonzales, Richrd E. Woods, Steven L. Eddins: Digital image processing using MATLAB, Prentice Hall 2004
Peter W. Hawkes, John C. H. Spence eds.: Science of Microscopy- volume I, II , Springer Science + Business Media LCC, 2007
firemní literatura fy Olympus
firemní literatura fy PI
Recommended resources
Anil K. Jain: Fundamentals of digital image processing, Prentice Hall 1989
Rafael C. Gonzales, Richrd E. Woods, Steven L. Eddins: Digital image processing using MATLAB, Prentice Hall 2004
Peter W. Hawkes, John C. H. Spence eds.: Science of Microscopy- volume I, II , Springer Science + Business Media LCC, 2007
firemní literatura fy Olympus
firemní literatura fy PI
