Práce se zabývá tématem zdrojů plazmatu za atmosférického tlaku a jejich průmyslových aplikací, zejména v chemickém a plastikářském průmyslu. Tato část zahrnuje jak depozici tenkých vrstev pomocí plazmatu, tak i ostatní aplikace plazmatu za atmosférického tlaku. Druhá část práce podává přehled nejpoužívanějších metod měření tenkých vrstev a shrnuje možnosti a podmínky jejich využití a také jejich výhody a nevýhody.
Annotation in English
This work provides a review of plasma sources operating at atmospheric pressure and their industrial applications including deposition of thin layers. Second part of this work presents a summary of frequenty used methods of measurement of thin films, conditions of their use, their advatages and drawbacks.
Keywords
plazma, plazmatické technologie, tenké vrstvy, zdroje atmosférického plazmatu
Práce se zabývá tématem zdrojů plazmatu za atmosférického tlaku a jejich průmyslových aplikací, zejména v chemickém a plastikářském průmyslu. Tato část zahrnuje jak depozici tenkých vrstev pomocí plazmatu, tak i ostatní aplikace plazmatu za atmosférického tlaku. Druhá část práce podává přehled nejpoužívanějších metod měření tenkých vrstev a shrnuje možnosti a podmínky jejich využití a také jejich výhody a nevýhody.
Annotation in English
This work provides a review of plasma sources operating at atmospheric pressure and their industrial applications including deposition of thin layers. Second part of this work presents a summary of frequenty used methods of measurement of thin films, conditions of their use, their advatages and drawbacks.
Keywords
plazma, plazmatické technologie, tenké vrstvy, zdroje atmosférického plazmatu
Příprava rešeršní práce shrnující možnosti aplikace nízkoteplotní plazmy pro depozici ultratenkých vrstev polymerních materiálů v průmyslové praxi a metody měření ultratenkých vrstev. a) Depozice ultratenkých polymerních vrstev pomocí plazmy - plazmová polymerace b) Průmyslové aplikace tenkých vrstev nánosovaných pod plazmou c) Metody měření ultratenkých vrstev d) Klasifikace metod analýzy ultratenkých vrstev
Research Plan
Příprava rešeršní práce shrnující možnosti aplikace nízkoteplotní plazmy pro depozici ultratenkých vrstev polymerních materiálů v průmyslové praxi a metody měření ultratenkých vrstev. a) Depozice ultratenkých polymerních vrstev pomocí plazmy - plazmová polymerace b) Průmyslové aplikace tenkých vrstev nánosovaných pod plazmou c) Metody měření ultratenkých vrstev d) Klasifikace metod analýzy ultratenkých vrstev
Recommended resources
BECKER, K.H., KOGELSCHATZ, U., SCHOENBACH, K.H., BARKER, R.J., eds.
Non-Equilibrium Air Plasmas at Atmospheric Pressure. Series in Plasma Physics.Institute of Physics. London: Taylor & Francis, 2004. BIEDERMAN, Hynek. Plasma Polymer Films. London: Imperial College Press, 2004.
d'AGOSTINO, R., FAVIA, P., FRACASSI, F., eds. Plasma Processing of Polymers. Dordrecht: Kluwer Academic Publishers, 2010. FRIDMAN, Alexander. Plasma Chemistry. Cambridge: Cambridge University Press, 2008. HARRY, John Ernest. An Introduction to Plasma Technology. Science, Engineering and Applications. Weinheim: Wiley-VCH, 2010. KAWAI, Y., IKEGAMI, H., eds. Industrial Plasma Technology. Applications from Environmental to Energy Technologies. Weinheim: Wiley-VCH, 2010. ROTH, J. Reece. Industrial Plasma Engineering. Applications to Nonthermal Plasma Processing. Vol. 2. London: Taylor & Francis, 2001.
Recommended resources
BECKER, K.H., KOGELSCHATZ, U., SCHOENBACH, K.H., BARKER, R.J., eds.
Non-Equilibrium Air Plasmas at Atmospheric Pressure. Series in Plasma Physics.Institute of Physics. London: Taylor & Francis, 2004. BIEDERMAN, Hynek. Plasma Polymer Films. London: Imperial College Press, 2004.
d'AGOSTINO, R., FAVIA, P., FRACASSI, F., eds. Plasma Processing of Polymers. Dordrecht: Kluwer Academic Publishers, 2010. FRIDMAN, Alexander. Plasma Chemistry. Cambridge: Cambridge University Press, 2008. HARRY, John Ernest. An Introduction to Plasma Technology. Science, Engineering and Applications. Weinheim: Wiley-VCH, 2010. KAWAI, Y., IKEGAMI, H., eds. Industrial Plasma Technology. Applications from Environmental to Energy Technologies. Weinheim: Wiley-VCH, 2010. ROTH, J. Reece. Industrial Plasma Engineering. Applications to Nonthermal Plasma Processing. Vol. 2. London: Taylor & Francis, 2001.
