Úkolem bakalářské práce bylo seznámit se s metodami zobrazení morfologie povrchů a následná realizace systému mikronových a submikronových posuvů s jehož pomocí by bylo možné zobrazit vybrané povrchové struktury.
Systém mikronových posuvů byl realizován pomocí servomotorů Mercury M-110 1DG a krokových ovladačů Mercury C-862, které byly ovládány pomocí programového prostředí Matlab. Systém submikronových posuvů byl realizován pomocí P-611.3S NanoCube a krokového ovladače E-664. Naměřená data byla vizualizovaná v programu Wolfram Mathematica.
Po provedení úspěšných měření byly odhadnuty nejistoty měření.
Annotation in English
The task of this thesis was to get acquainted with the methods of surface visualization and realization of a micron or submicron displacements system through which you could view the selected surface structure.
Micron displacement system included servomotors Mercury M-110 1DG and stepper controllers Mercury C-862, which was controlled by the Matlab. Sub-micron displacements system included also P-611.3S NanoCube and stepper controller E-664. The programme Wolfram Mathematica was used for the visualization .
Finally, measurements uncertainties were estimated.
Keywords
mikroskopie, metrologie, servomotor, systém posuvů, zobrazení povrchu
Úkolem bakalářské práce bylo seznámit se s metodami zobrazení morfologie povrchů a následná realizace systému mikronových a submikronových posuvů s jehož pomocí by bylo možné zobrazit vybrané povrchové struktury.
Systém mikronových posuvů byl realizován pomocí servomotorů Mercury M-110 1DG a krokových ovladačů Mercury C-862, které byly ovládány pomocí programového prostředí Matlab. Systém submikronových posuvů byl realizován pomocí P-611.3S NanoCube a krokového ovladače E-664. Naměřená data byla vizualizovaná v programu Wolfram Mathematica.
Po provedení úspěšných měření byly odhadnuty nejistoty měření.
Annotation in English
The task of this thesis was to get acquainted with the methods of surface visualization and realization of a micron or submicron displacements system through which you could view the selected surface structure.
Micron displacement system included servomotors Mercury M-110 1DG and stepper controllers Mercury C-862, which was controlled by the Matlab. Sub-micron displacements system included also P-611.3S NanoCube and stepper controller E-664. The programme Wolfram Mathematica was used for the visualization .
Finally, measurements uncertainties were estimated.
Keywords
mikroskopie, metrologie, servomotor, systém posuvů, zobrazení povrchu
Seznamte se s metodami zobrazení morfologie povrchů.
Popište metody řízení posuvů v mikronové a submikronové oblasti.
Realizujte systém XYZ posuvů v mikronovém měřítku.
Realizujte systém XYZ posuvů v submikronovém měřítku.
Pokuste se o zobrazení vybrané povrchové struktury.
Odhadněte nejistoty určování pozice skenovací sondy.
Research Plan
Seznamte se s metodami zobrazení morfologie povrchů.
Popište metody řízení posuvů v mikronové a submikronové oblasti.
Realizujte systém XYZ posuvů v mikronovém měřítku.
Realizujte systém XYZ posuvů v submikronovém měřítku.
Pokuste se o zobrazení vybrané povrchové struktury.
Odhadněte nejistoty určování pozice skenovací sondy.
Recommended resources
Hawkes P.W., Spence J.C.H. eds.: Science of Microscopy, vol.I vol.II Springer 2007
Heinz R.: Návrh detekčního uzlu pro mikrovlnný mikroskop, diplomová práce FAI UTB 2005
Trochta O.: Zpracování signálu z mikrovlnného koaxiálního rezonátoru, diplomová práce FAI UTB 2005
Firemní literatura fy Stanford Research
Firemní literatura fy Agilent
Ultramicroscopy, časopis dostupný přes knihovnu UTB
Recommended resources
Hawkes P.W., Spence J.C.H. eds.: Science of Microscopy, vol.I vol.II Springer 2007
Heinz R.: Návrh detekčního uzlu pro mikrovlnný mikroskop, diplomová práce FAI UTB 2005
Trochta O.: Zpracování signálu z mikrovlnného koaxiálního rezonátoru, diplomová práce FAI UTB 2005
Firemní literatura fy Stanford Research
Firemní literatura fy Agilent
Ultramicroscopy, časopis dostupný přes knihovnu UTB
