Cílem práce bylo seznámení s technologií označovanou jako Mikroelektromechanické systémy (MEMS). Možnosti jejího využţití a aplikace. Teoretická část pojednává o historii této technologie a dále se zaměřuje na nejpoužívanější technologické procesy a materiály používané pří výrobě. V této části jsou také obsaženy základní metody a principy používané pro průtokoměry a pro zařízení schopné chemické analýzy látek. V praktické části jsou popsány konkrétní produkty používané pří měření průtoku a pří rozboru chemických látek a dále je vypracován přehled výrobců využívajících pro své produkty technologii MEMS.
Annotation in English
The main purpose of this work was familiarization with a technology reffered to as Micro-electro-mechanical systems (MEMS). The possibilities of its usage and application. Theoretical section treat of a history of this technology and further focuses on the most used technological processes and materials used in a production. In this section, basicmethods and principles used for flowmeters and for devices able tochemical analysis of materials are included. In the practical section there are described concrete products used in measuring of a flow and in analysis of chemical substances. Summary of producers, who use for their products the MEMS technology is worked out and enclosed.
MEMS, micro-electro-mechanical systems, microsystems, microstructure, microtechnology, flowmeter, Lab-on-Chip, chemical analysis
Length of the covering note
49
Language
CZ
Annotation
Cílem práce bylo seznámení s technologií označovanou jako Mikroelektromechanické systémy (MEMS). Možnosti jejího využţití a aplikace. Teoretická část pojednává o historii této technologie a dále se zaměřuje na nejpoužívanější technologické procesy a materiály používané pří výrobě. V této části jsou také obsaženy základní metody a principy používané pro průtokoměry a pro zařízení schopné chemické analýzy látek. V praktické části jsou popsány konkrétní produkty používané pří měření průtoku a pří rozboru chemických látek a dále je vypracován přehled výrobců využívajících pro své produkty technologii MEMS.
Annotation in English
The main purpose of this work was familiarization with a technology reffered to as Micro-electro-mechanical systems (MEMS). The possibilities of its usage and application. Theoretical section treat of a history of this technology and further focuses on the most used technological processes and materials used in a production. In this section, basicmethods and principles used for flowmeters and for devices able tochemical analysis of materials are included. In the practical section there are described concrete products used in measuring of a flow and in analysis of chemical substances. Summary of producers, who use for their products the MEMS technology is worked out and enclosed.
MEMS, micro-electro-mechanical systems, microsystems, microstructure, microtechnology, flowmeter, Lab-on-Chip, chemical analysis
Research Plan
Vypracujte přehled vývoje mikroelektromechanických systemů (MEMS).
Pojednejte o technologii MEMS a možnostech aplikace a využití těchto systémů.
Uveďtě příklady zařízení MEMS vhodných pro měření průtoku a složení látek.
Vypracujte přehled výrobců těchto systemů.
Proveďte cenové srovnání vybraných systemů.
Vypracujte prezentaci seznamující s problematikou MEMS.
Research Plan
Vypracujte přehled vývoje mikroelektromechanických systemů (MEMS).
Pojednejte o technologii MEMS a možnostech aplikace a využití těchto systémů.
Uveďtě příklady zařízení MEMS vhodných pro měření průtoku a složení látek.
Vypracujte přehled výrobců těchto systemů.
Proveďte cenové srovnání vybraných systemů.
Vypracujte prezentaci seznamující s problematikou MEMS.
Recommended resources
Bejček, L., Ďaďo, S., Platil, A.: Měření průtoku a výšky hladiny, Vydavatelství BEN, Praha 2006
Husák, M.: Mikrosenzory a mikroaktuátory, Vydavatelství Academia, Praha 2008
Varadan Vijay, K., Vinoy, K.J., Jose, K.A.: Rf Mems And Their Applications, vydavatelství Wiley, 2003
Vijay K. Varadan, K. J. Vinoy, S. Gopalakrishnan : Smart Material Systems and MEMS, vydavatelství John Wiley & Son, 2006
Mohamed Gad-el-Hak: The MEMS handbook, Vydavatelství CRC Press, 2002
Beeby, S.:MEMS Mechanical Sensors, vydavatelství Artech House, 2004
Recommended resources
Bejček, L., Ďaďo, S., Platil, A.: Měření průtoku a výšky hladiny, Vydavatelství BEN, Praha 2006
Husák, M.: Mikrosenzory a mikroaktuátory, Vydavatelství Academia, Praha 2008
Varadan Vijay, K., Vinoy, K.J., Jose, K.A.: Rf Mems And Their Applications, vydavatelství Wiley, 2003
Vijay K. Varadan, K. J. Vinoy, S. Gopalakrishnan : Smart Material Systems and MEMS, vydavatelství John Wiley & Son, 2006
Mohamed Gad-el-Hak: The MEMS handbook, Vydavatelství CRC Press, 2002
Beeby, S.:MEMS Mechanical Sensors, vydavatelství Artech House, 2004
